生产过程中环境气体的监测，由于标准气体品种繁多，成分复杂，和有毒有害气体的泄漏，都可能产生事故，因此室内安装报警器是实现安全生产的必要条件，安全生产，预防为主。液态混合物的潜在危险， 除了遵从和气态混合物同样的规则，还应考虑： 1、充装不能超量；2、确认气瓶中无余量；3、电子秤要校准；4、虹吸管的材质和充装的成分要相容，总之，在标准气体制备过程中，必须对制备的标准气体进行研究，制定合理的充装工艺和安全操作程序，提供必要的安全生产条件，将安全生产放在首位，减少人身伤害和财产损失，这样才能创造和谐的社会环境。
在半导体体行业线宽越做越小，其对气体纯度、颗粒度、杂质含量的要求也越来越高。线宽下对超纯氮气的要求，高纯氮气（PN2）：系统管道采用内壁电解抛光（EP）低碳（316L）不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。（N2）：系统管道采用内壁电解抛光（EP）低碳（316L）不锈钢管或光亮退火（BA）低碳（316L）不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或球阀。
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